干法第五章总结4篇干法第五章总结 第36卷2008年9月第9期聚氯乙烯PolyvinylChlorideVol.36,No.9SeP.,2008千法乙块技术总结常炳杰&下面是小编为大家整理的干法第五章总结4篇,供大家参考。
篇一：干法第五章总结
6卷2 0 08年9 月第9 期聚 氯 乙 烯Polyvinyl Chlo rideVol.3 6,No.9SeP.,200 8千法乙块技 术 总 结常炳 杰‘,杨秀岭,唐鹏跃,杨清泉(新龙 电化集团,山东 寿光 2 627 0 9 )〔 关键 词〕干法 乙炔;实物投料;技术;指标〔 摘要〕 介绍了新龙电化集团干法乙炔工艺从实验装置实物投料到标准化装置库续运行中发现的问题及解决的方法。[ 中图分类号ITQ32 5.3[文献标志码〕A[文章编号〕10 ()9 一7 937(20()8)〔 )9一0(, 1 1一()4Sum ma ryo nthedryg en e r ating te chn ologyofa e etyle n eCHA N G Bing一ji。,、 恤N G Xiu一ling,T A N G Pe ng一 夕u e,y A N G g ing一叮u a n(X inlo ng Ele etr o ehem ie al Gr o uP,S ho ugu a ng 2 627 0 9,Chin a)Key wo rds :a e etyle n ege n e r ated by dry method; s ubsta n tial f eed ing;te ehn olog y ;inde xA怡饥以:n ℃bl~几u nd f romth c阁a比t y le n e厅以c n习~场柳岛io ni ne习 不”n翻切l de访c e t oth ec o n ti~ ~n g o f由怅坛d 浅Nic ef o rge n.On gn 飞改橄月~int re dt龙e da sw c llth es o l u t io n s.新龙电化集团 聚氯乙烯公司(简称新龙电化公司)在同行业中率先进行了干法乙炔工艺的研发,并进行了工业化生产。干法乙炔实验装置 于 20 06年6 月开始安装,8月 2 3日发生 器进行第1次实物投料实验,经 历 了多次投料、调试、工艺修改后,1 0月实验装置 开车成功进人连续运行。200 7年6 月新龙电化公司在实验装置 运行经验的基 础 上,进行了标准化干 法 乙炔装置的设计安装,8月标准化装置投料开车,并一次投料开车成功。现将干法乙炔工艺的调试、改进及 运行情况进行总结,供 同行参考。1千法乙炔工艺干 法 乙炔使用略多于理论量的水以雾状喷在电石粉上使之水解,产生 的 电 石渣为水含量很低 的干粉末;粗乙炔 中水蒸气分压为0.07 8 kP。;反应 温度气相为 8 5 一9 5℃,固相 温度为9 5~10 0 ℃;水与电石的加人量比为(1.0一1.1):1;反应热由水汽化带走,经由非接触式换热器传给循环水;电石的水解率> 9 9.0%,乙炔收率> 9 8实验装置的初次实物投料运行.5%。22 以沁年8月 2 3日,实验装置安装完毕,在进行最后1次系统全面检查后,启动开车程序。程序启动后,因电石破碎机过 电流跳闸而停车。停车后,检查 破碎系统,发现破碎机进料量过大,其原因是粗电石 盘式给料机参数设定过大。调整粗电石盘式给料机的给料量后再次启动程序,初次投入电石量为3.5t / h,电石与水的加人量比为1:1.3。电石与水开始反应后,发生器温度由室温逐渐上升到9 4℃,发生 器内压力由常压逐渐上升到 1 2kP a,之后发生 器内的温度与压力一直稳定,未见提高。运行 3 0m i n 后发生器底部的出料器 开始排出电石渣,其用皮带机输送到发 生 厂房外;5 m i n后,发生器中的乙炔气冲破料封 自排渣 机出口喷出,操作人员按下紧急停车按钮后装置停车。研发小组成员召开 了第1次实物投料总结会议,根据发生器运行 3 5而n的情况认为:¹ 干式发生器内部反应温度在安全范围;º 干式发生器内部反应 压力在安全范围;» 电石的供料系统暂时没发现问题,在第2次开车之前不需修改水质量分数为 1 0 % 一2 0 %;¼ 电石与水的加人量比确定为1:1.3,电石渣 的含;½ 发生 器底部料封 不能封住发生器内压力为 1 2kP a 的乙炔气,容易喷出,这也是影 响干法 乙炔发生 器安全运行 的关键问题,须进行改进;¾ 仪表显示不够准确;¿ 不同厂家生产的发气量 不同的电石对发生器的影响很大。3实验装置的改进在发生器中通过 电石实 物投料,对 干法发生器运行 的安全可靠性有 了进一步的了解。随后,新龙电化公司对排渣机进行 了多次改 造,并进行了实物投料运行调试。根据现场掌握的情况进行分析,发现 乙炔气密封不住的原 因是发生器最底层 电石渣易出现膨料现象。随着排渣机螺旋叶片 的不停旋转,排渣 机内的 电[收稿日期12 0 0 5 一0 1 一 2 0〔 作者 简介〕常炳杰(19 70一),男,助 理工程师,现任新龙电化集团聚氯乙烯有 限公 司经理。
} l} 撇撇 姗 姗聚 氛 乙 烯2008年石渣越来越少,不能在排渣机内挤压形成料封。针对这一情况,研发人员在发生器搅拌轴的下端增加了搅拌装置,破坏发生器底部电石 渣形成的膨料现象,同时在排渣机的出渣端加设了自动调节气缸式密封端盖,用排渣机电流来控制气缸密封端盖 的开启度,自动调节排渣机的排渣压力,挤压排渣机内电石渣,使其密度增大形成密封段,能有效地阻 止 乙炔气的泄漏外逸。形成了阻止 乙炔气泄漏的密封段,但电石渣在排渣机的密封段被挤压成坚实的硬块,短时间运行排渣器就会停车。新龙电化公司的技术人员经过几次开停车的实验摸索,决定在排渣机螺旋的末端加设破碎叶片,破碎被挤压坚实的电石渣,解决了排渣机停车的问题。在调试过程中,破碎后电石的筛选设备-一一滚筒转筛连续运行的可靠性低,经常发生筛孔眼堵塞,导致发生器中电石加人量越来越少,最初为7t / h,随着筛孔的不断堵塞慢慢降低到3t/ h,最后要停车人工疏通筛孔,发生器因此也不能连续稳定运行。研发人员经过多次实验,将转筛的筛孔由圆孔改为长条孔后,筛孔堵塞、产量降低的现象有所缓解,延 长 了发生器连续运行的时间,但仍未能彻底解决筛孔堵塞的问题。经过研发人员的不断努力,最后确定采用一种特殊的筛网,解决了筛孔堵塞问题,使发生器供料系统连续运行。随着调试次数不断的增加,不断地解决了设备、工艺及设计方面出现的问题,干法 乙炔发 生器连续运行的周期也越来越长,由最初的3 5m i n 提高到连续无故障运行。在实验装置的调 试 运行过 程中,新龙电化公司对干法 乙炔发生器实验装置的运行指标进 行了确认。电石与水的加人 比为1:(1.3 0 ~1.7 ( )),电石渣的含水质量分数为1 0 % ~ 2 0 %,乙炔气体积分数为) 9 9 %气温度为40~ 6 5发生 器搅拌器的运行电流为 2 ( ),发生器运行温度为85~ 9 5℃,冷却后 乙炔℃,发生器运行压力为3.3~15.0kPa,~2 5A。4干法乙炔发生器标准化装置的运行标准化 干式乙炔 发 生器及其配套附属设备在实验装置 的基 础上 又进行了进 一步的优化改进,工艺更加合理,操作方 法 更加简单,安 全系数进 一步提高,电石 渣含水质量分数 由实验装置 的 1 0 % ~ 2 0 %降低到3 % 以 下实验装置 的3 ~5t /龙电化公司 运行的2 台干式乙 炔 发 生 器能够满足,单 台乙炔 发 生 器的电石加人 量 由h 提高到 1 ( ) ~ 1 2t / h。目前,新22万t/。p v C装置 的需求。标准化干式乙炔发 生 器 运行指标:电石加人量10t / h,电石 粒 径 成5 m m,电石与水的加人 量 比为1:(1.0~1.1),干法 乙炔发 生器温 度 8 5 ~ 9 5℃、压1 2力3.3~25.0 k Pa,冷却后乙炔温度40~ 6 5 ℃,乙炔收率> 9 8率) 9 9 %.5 %,乙炔气体积分数> 99.2 %,电石水解,电石渣含水质量分数簇3 %。标准化干式乙炔发生器产生的电石渣水含量 极低,如无后续深加工或加湿处 理,过大的扬尘会给周围环境造成极大的二 次 污染。目前,新龙电化公司暂无干粉电石渣的深加工装置,所 以对电石渣进行了加湿处 理,消除了干粉因扬尘带来的环境污染。建议配套以干粉电石渣为原料的水泥项目。干粉电石渣制水泥无需干燥,工艺简单,将矽铁等分离后直接送 进混料仓即可,简化了水泥 生产工艺,节省设备和能源,成本低,操控方便。5从实验装置投料 试 车到标 准化 装置连 续无故障运行出现 的部分 问题及改进干法乙炔装置自研发、实物投料、调试改进运行至今,历时一年半,研发人员不断改进装置在运行中出现的工艺、设备 的缺陷,更新工艺设计理 念,完善安全保障设施,操作人员水平日趋提高,标准化干法乙炔装置 已连续、安全、稳定 的运行,完全能代替传统的湿法乙炔发生 器进行生产。5.1更新工 艺设计理念干法乙炔装置开车初期不能连续运行,与工艺设计有关。干法乙炔工艺在设计与模拟实验初期是以生石灰代替电石进行的,电石与生石灰 的物理化学性质有很多不同之 处。实验装置开车投料后,以生石灰的物理化学性质为依据设计的工艺影响了发生 器的运行。如,¹ 发生器的进料螺旋计量输送器对电石的加人量计量不准确;º 发生器搅拌耙齿经常被电石渣糊成“圆棒”,特别是遇到发气量差异较大的电石进人发生器时尤为严重,耙齿起不到搅拌输送的作用,这是工艺设计时没有考虑到的问题;» 发生器边缘下料通道极易堵塞,运行时间不长就须停车清理;¼ 排渣机经常停车;½ 发生器及洗涤塔的水管、喷头经常被堵塞,影响发生器的需水量及乙炔气的洗涤,乙炔气冷却后温度高;¾ 发生器底部排渣单元有时不能形成可靠的密封段,造成乙炔气喷出,存在很大的安全隐患,这一状况与当初设计时预想的也不同。通过反复研究后,改变了设计时模拟投料实验的工艺理念,进行了相应改进、调整。¹ 用破碎到符合发生器标准要求的电石重新校正了螺旋计量输送器 的输送参数,确保电石加人量 的准确性。º 标准化装置调整 了电石在发生器内的布料形式,减少 了发 生器 内的托板层数,改变了耙齿形式,调整了电石与水的加人量比,使完全水解后 干电石 渣含水质量分数由原来的1 0 %一2 0 %降至4% 以下。通 过标准化 干法 乙炔装置
第9期常炳杰等:干法 乙炔技术总结运行情况可 知,解决了糊耙齿、堵塞边缘下料通 道、排渣器停车等问题后,发生器能够适应不同发气量的电石。» 发生器用水采用废NaC IO溶液,并加设过滤器;洗涤水采用密闭循环方式,并适时将洗涤下的渣浆从洗涤塔底部排出,延长了喷头的使用时间,标准化干法乙炔装置运行3个月,洗涤水管无堵塞。从工艺设计上解决了因阻碍设备而不能连续运行的问题,为干法乙炔装置的长期、稳定、连续运行提供了理论依据。5.2发生器机构及 附属设备的改造设备的连续、稳定运行是检验该套装置成功与否的关键,实验装置运行时设备暴露出许多缺陷,在标准化装置设计中都逐 一进行了改进。(1 ) 发生 器边缘下料通道 由托板外侧距离发生器内壁2 0cm周边下料改为在托板的外侧处设直径30cm 的4个下料 圆孔,避免了发生器 内壁结垢堵塞下料通 道。调 整 了发生器 内托板的角度、耙臂及耙齿的角度,更有利于 上 层托板的物料向下层托板流动,进一步降低了搅拌轴的功率。(2 ) 发生器内喷水层由多层喷水改为两 层喷水,在保证电石 反应水解率的同时解决了发生 器底部电石渣易含水分过多而造成搅拌轴功率过高、排渣机功率过大容易停车的问题。( 3 )排渣机 的改进。在该装置运行中,发现当电石 渣含水质量分数在3% ~ 1 0 %时,电石 干渣极易在排渣机密封段处挤压成块。当电石渣含水质量分数簇1%时,乙炔气又易冲破料封而喷出。多次观察分析后设置为30,将原排渣机螺旋绞龙缩短 l ( )Cm,将密封段cm,终端由气缸式挡板改为锁气器,锁气器采用变频控制,可自动调节出料速度。改造后,电石渣含水质量分数簇1%时,排渣 机未出现异常问题,能 够形 成有效的密封段 且 能 及 时、均匀 出料,配用 的电机功率由45 kw 减小 到30 kw。( 4 )发生器及洗涤塔喷头 的改造。电石 能否完全水解,粗乙炔中携带的 电石粉尘、杂质能否充分洗涤,喷头起着关键性的作用。装置运行前期喷头易堵塞,对所堵物质充分分析后,发现堵塞由两种原 因造成:¹由于开停车频繁或水压小造成电石泥 由外向内将喷头包裹住,º 由铁锈等杂质堵塞喷头及水管。对此,新龙电化公 司进行 了相应改 造:¹ 发生 器及洗涤塔用水管道加装过滤器过滤杂质;º 用水管道材质全部更换为不锈钢;» 由小号喷头更换成中号喷头。改造后,停车检查时发现喷头堵塞物明显减少。( 5 )乙炔出气管改造。实验装置中由发生器到洗涤塔之间的乙炔气管道易积聚电石灰而堵塞出气口,造成乙炔气出气不畅,发生器压力升高,运行2周左右须停车清理。缩短了标准化装置 出气管道的长度,调整 了出气管道中洗涤喷嘴的角度后,将夹带电石灰的乙炔气充分洗涤后送出,解决了出气口电石灰易积聚的问题。( 6 )电石提升机由皮带式改为链条式。皮带式提升机运行时易跑偏,导致吊斗与提升机筒壁产生碰撞与摩擦,运行不长时间就出现多个吊斗脱落、紧固吊斗的螺栓将螺栓孔周围的皮带撕裂、提升机筒壁磨穿等现象。改为链条式提升机后,提升机运行稳定、不跑偏、吊斗不易脱落、易检修,运行4个月以来无不正常现象发生。(7 ) 干式乙炔发生器对电石的粒径要求比较高,电石粒径必须簇5 m m才能进入发生器。采用锤式破碎机破碎电石时普通材质的锤头使用时间不长就严重磨损,更换锤头比较频繁。经 过探索,找到了能够适应破碎机锤头 的耐磨合金材质,提高了破 碎能力,解决了破碎机锤头磨损快、寿命短的问题。( 8 )实验装置的电石 渣含水质量分数为10% 一2 0 %,电石渣自排渣 器排出后用敞开式皮带机直接输送到室外,无扬尘现象;标准化装置产生的电石渣含水质量分数为< 3%,电石渣排出后采用 了密闭输送方式,避免了对周围环境的二次污染,属清洁化生产。6存在 的问题及改进措施( 1 )发生器及洗涤塔内的喷水水嘴在长时间运行后仍然存在缓慢堵塞现象,须停车置换发生器后打开人孔盖进行更换。目前,新龙电化公司已研发出能够在线更换的喷水水嘴,装置运行中可不停车在线更换水嘴。( 2 )发生器 出气...
篇二：干法第五章总结
交通大学硕士学位论文C<, 4>F<, 6>在130nm产品中接触孔/通孔干法刻蚀工艺中的应用姓名：邱鹏申请学位级别：
硕士专业：
软件工程指导教师：
程秀兰; 陈晓军20080508
2
Ｃ ４Ｆ ６在 １３０ｎ ｍ产品中接触孔／ 通孔干法刻蚀工艺中的 应用 要 摘
随着设计技术进一步发展， 通过以 Ｃ ４Ｆ ６为基础的刻蚀制程气体在Ｍ Ｅ Ｒ ＩＥ 技术 ｅ Ｍ Ａ Ｘ反应腔室的应用， 可以扩大 ｅＭ Ａ Ｘ机台绝缘体材料刻蚀 １３０ｎｍ及以下制程的窗口。Ｃ ４Ｆ ６有比 Ｃ ４Ｆ ８更高的对光阻和氮化硅（ Ｓ ｉ３Ｎ ４）的选择比和更宽的刻蚀终止窗口。
通过优化工艺窗口， 其对 Ｓ ｉ３Ｎ ４的选择比可以达到 ３０：
１， 使得有能力刻蚀低或高深宽比的结构， 大于 ８７° 角的刻蚀能力可以很好的控制 Ｃ Ｄ和刻蚀轮廓。
而且现有机台已经有Ｃ ４Ｆ ６气体管路， 无须改管安装。
通过正交实验， 对 ０ ．１３ｕ ｍ绝缘体干法刻蚀的主要参数（ 射频， 压力，Ｃ ４Ｆ ６，Ｃ Ｈ Ｆ ３）进行优化研究， 并得出结论：
Ｒ Ｆ功率为影响刻蚀速率的主要因素； 压力为影响均匀性的主要因素； 选择比主要 由气体流量决定， 通过调节气体流量的比率可改善选择比。
在此基础上我们对 ０ ．１３ｕ ｍ Ｃ Ｔ ／ Ｖ ｉａ刻蚀性能进行近一步的实际应用实验研究，用不同的刻蚀参数刻蚀产品，通过切片进一步分析和确认窗口。
最后我们通过测试结果（ Ｃ Ｄ ， 切片， 缺陷， Ｗ Ａ Ｔ ， 良率）分析， 证明了Ｃ ４Ｆ ６应用于新工艺开发比现有 Ｃ ４Ｆ ８成功提高了窗口和良率。
关键词：
Ｃ ４Ｆ ６气体， 氮化硅选择比， 刻蚀率， 绝缘体刻蚀
3
C4F6 CHEMISTRY APPLICATION IN 130NM CT/VIA DRY ETCH
ABSTRACT
An advanced Dielectric etch process window with C4F6 based chemistry has been developed for the device technology of 0.13 um and beyond using an eMax chamber utilizing an MERIE technology. Higher nitride/ photoresist selectivity and wider etch stop window have been achieved than C4F8. By improvement etch process window, the new etch process is capable of etching both low and high aspect ratio structures with up to 30:l nitride selectivity, greater than 87° profile, can improve CD and etch profile. And the already existing C4F6 gas tube in eMAX, we need not to change gas system. A 0.13um process with CT/Via etch application has been developed using in eMAX dielectric etch chamber. Using C4F6 CT/Via etch based experiment data. The trade-off between nitride corner selectivity and etch stop margin was observed for most parameters. Wafer temperature, chamber pressure, RF and reactive gas flow are the most dominant tuning knobs for nitride/photoresist selectivity and etch stop window. Finally, we did electrical tests, WAT and yield analysis， and the result confirmed that the new Process developed with C4F6 is better performance than C4F8.
KEY WORDS: C4F6 gas, nitride selectivity,etch rate,dielectric etch
1
第一章 前言
1.1 论文背景——新技术开发的意义 Ｃ ４Ｆ ８在半导体刻蚀制造中应用非常广泛， 它主要应用于绝缘体材料刻蚀如通孔刻蚀（ Ｖ ｉａ ），接触孔刻蚀（ Ｃ ｏ ｎ ｔａ ｃｔ）
， 高深宽比孔刻蚀（ Ｈ Ａ Ｒ ）， 大马士革结构刻蚀（ Ｄ ｕ ａ ｌ Ｄ ａ ｍ ａ ｓｃｅｎ ｅ）， 但随着工艺技术的提高到 ０ ．１３ｕ ｍ及以下时， Ｃ ４Ｆ ６有逐渐代替 Ｃ ４Ｆ ８成为绝缘体材料主刻蚀气体的趋势， 因为它有比 Ｃ ４Ｆ ８更高的对 １９ ３ｎ ｍ光阻（ 图 １）和氮化硅（ Ｓ ｉ３Ｎ ４）的选择比， 从而可以很好的控制 Ｃ Ｄ和优化刻蚀轮廓［ １］。
另外 Ｃ ４Ｆ ６比 Ｃ ４Ｆ ８也更加环保， 可以减少对臭氧层的破坏［ ２］。
所以， 随着 Ｃ ４Ｆ ６气体应用于 ｅＭ Ａ Ｘ机台中， 从那些方面去优化窗口成为本次论文研究的意义。
图 １ 随着 Ｃ ／ Ｆ比的增加对光阻的选择比增大 价格降低是另一个原因， 大家都知道在半导体制造中的设备相当昂贵， 随着 ＩＣ设 计 和 制 造 的 发 展 ，根 据 ＩＴ Ｒ Ｓ （ Ｉｎ ｔｅｒｎ ａ ｔｉｏ ｎ ａ ｌ Ｔ ｅｃｈ ｎ ｏ ｌｏ ｇ ｙ Ｒ ｏ ａ ｄ ｍ ａ ｐ ｆ ｏ ｒ Ｓ ｅｍ ｉｃｏ ｎ ｄ ｕ ｃｔｏ ｒｓ），每两到三年芯片制造就会达到一个新的技术节点。
面对这个事实，很明显在目前的工业发展阶段， 中国 ＩＣ工业面临的主要挑战之一就是：
如何能在技术升级的同时保持低成本的优势。
本课题的绝缘体材料刻蚀的设备 ｅＭ Ａ Ｘ机台是中芯国际目前 ８寸厂最主要的绝缘体材料刻蚀设备， 该设备在 ０ ．３５ｕ ｍ ，０ ．２５ｕ ｍ ，０ ．１８ ｕ ｍ工艺技术中有优秀的表现， 但在 ０ ．１３ｕ ｍ技术层上遇到了技术瓶颈， 在设备供应商应用材料公司的官方答复中明确指出改设备的技术只能保障到 ０．１８ｕ ｍ技术， 没有对
2 ０．１３ｕ ｍ及以下技术的支持。
而要购买一台能支持 ０．１３ｕ ｍ的绝缘体材料刻的新设备，市场价格要超过两百万美金。
所以开发新工艺， 提高现有设备的能力， 对公司战略和运营成本能起到控制作用。
1.2 研究目 的——开发新工艺提高现有设备的能力 的意义 在中芯国际半导体制造中 MAX 机台用作绝缘体材料刻蚀最主要机台， eMAX机台（图 2）
自从最初的平行电极性等离子体反应室被用于芯片制造以来， 随着芯片尺寸的不断扩大及图形尺寸的不断减小， eMAX 机台平行电极等离子刻蚀设备在过去 20 年已得到了很大的改进， 虽然其原理还是一样， 但最大的改进在反应腔室周围加上磁场（ Magnetic Enhanced RIE,MERIE）。
由于电子在磁场和电场的共同作用下将作圆柱状回旋运动而不是电场下的直线运动， 磁场的存在将直接导致反应气体电离洁面的增加， 磁场的引进会增强离子浓度， 并使得等离子刻蚀技术可以在低气压下得以运用（<10Mt）。
由于离子浓度的增加， 撞击表面的离子能量也可以在不降低刻蚀速率的情况下被降低， 从而提高刻蚀选择比。
图 ２ 应用 材料公司 的 ｅＭ Ａ Ｘ刻蚀机台 但随着集成电路最小尺寸不断减小、 集成度的不断提高， 对刻蚀设备的要求也越来越高。
当被刻蚀的线条宽小于 0.13um 时， eMAX 机台在控制刻蚀性能遇到了挑战， 通孔和接触孔刻蚀 CD 的减小带来了刻蚀制程窗口的不断变小， 影响到了刻蚀的性能， 降低了产品在大规模生产中的稳定性、 提高了缺陷率。
所以根据现有的理论研究及生产需要表明， 必须对 eMAX 机台做一些改进， 以满足芯片生产技术进一步发展的需要。通过 C4F6气体在 eMAX 反应腔室的应用， 可以扩增大制程的窗口[3]。其对 Si3N4的选择比可以达到 30：
1， 使得有能力刻蚀高深宽比的结构， 大于 87° 角
3 的刻蚀能力可以使轮廓更加垂直。
1.3 论文结构 论文的结构如下：
第一章 前言 本章介绍了本论文的背景和研究的目的， 开发新工艺以提高现有设备的能力，节约设备成本。
第二章 eMAX 机台和 C4F6气体简介 本章对 ｅＭ Ａ Ｘ机台作了简单介绍， 从绝缘体刻蚀机台的发展历史到 ｅＭ Ａ Ｘ机台的结构和基本工作原理。
接下来介绍了 Ｃ ４Ｆ ６与 Ｃ ４Ｆ ８基本刻蚀原理和刻蚀效果的对比分析， 包括工艺参数、 大气污染等。
第三章 介质层干法刻蚀原理 本章主要介绍了介质层干法刻蚀的原理， 等离子刻蚀反应器的历史发展和种类，刻蚀工艺对等离子体刻蚀的基本要求， 特别论述了刻蚀选择比的获得方法。
第四章 新的介质层刻蚀工艺的开发 本章阐述了 0.13um 氧化膜干法蚀刻目前遇到的主要问题。
应用正交实验， 进行了蚀刻速率、 均匀性、 选择比等主要蚀刻参数的优化， 得出主要工艺参数的设置方法和理想条件的调整方法以及优化。
在此基础上我们对 0.13umCT/Via 刻蚀性能需要近一步的实验实际应用研究， 用不同的刻蚀参数刻蚀产品， 通过切片进一步分析和开发窗口。
第五章 工程流片验证 本章通过产品的实验对新开发的C4F6制程和原有的 C4F8制程刻蚀产品进行了比较， 包括 CD、 切片轮廓、 工艺缺陷、 WAT 测试和良率， 得出 C4F6气体用于氧化物刻蚀优于 C4F8。
第六章 总结 本章对全文的内容进行了总结， 成功开发了 eMAX 机台 0.13umCT/Via 氧化膜干法刻蚀工艺。
4
第二章 ｅＭ Ａ Ｘ机台和 Ｃ ４Ｆ ６简介 ２． １ ｅＭ Ａ Ｘ机台的简介 ２． １． １ 刻蚀设备的发展 最早报道等离子体刻蚀的技术文献于 1973 年在日本发表， 并很快引起了工业界的重视， 至今还在集成电路制造中广泛应用的平行电极刻蚀反应室（ Reactive Ion Etch-RIE）
是在 1974 年提出的设想。
这种反应室的剖面示意图和重要的实验参数，它是由以下几项组成：
一个真空腔体和真空系统， 一个气体系统用于提供精确的气体种类和流量， 射频电源及其调节匹配电路系统[3]。
在平行电极等离子体反应腔体中， 被刻蚀物是被置于面积较小的电极上， 在这种情况， 一个直流偏压会在等离子体和该电极间形成， 并使带正电的反应气体离子加速撞击被刻蚀物质表面， 这种离子轰击可大大加快表面的化学反应， 及反应生成物的脱附， 从而导致很高的刻蚀速率， 正是由于离子轰击的存在才使得各向异性刻蚀得以实现。
自从最初的平行电极型等离子体反应室被用于芯片制造以来， 随着芯片尺寸的不断扩大及图形尺寸的不断减小， 平行电极等离子刻蚀设备在过去 20 年中已得到了很大的改进， 最大的改进在反应腔室周围加上磁场 （Magnetic Enhanced RIE,MERIE）。由于电子在磁场和电场的共同作用下将作圆柱状回旋运动而不是电场下的直线运动， 磁场的存在将直接导致反应气体电离截面的曾加， 磁场的引进会曾加离子密度，并使得等离子刻蚀技术可以在更低气压下得以运用 （<10mT）
。
由于离子密度的增加，撞击表面的离子能量也可以在不降低刻蚀速率的情况下被降低， 从而提高刻蚀选择比。
当被刻蚀的线条宽小于 0.25um 时， MERIE 在控制刻蚀的性能遇到了挑战， 于是电感耦合等离子刻蚀（ Inductive Couple Plasma-ICP）
便应运而生。
ICP 反应室是在
5 RIE 反应室的上方加置线圈状电极， 并通过电感耦合达到曾强等离子密度的效果。目前在高端芯片生产中的导电体刻蚀基本上都采用 ICP 反应腔体技术， 其优点是可以用上下两组电极分别控制离子的密度和能量以达到最优化的组合， 这也是 MERIE系统所无法比拟的。
2.1.2 eMAX 刻蚀设备简介 刻蚀设备对刻蚀工艺技术有很大的制约作用,即一代设备造就一代技术 。
本实验所用设备为 MERIE 型 eMAX。
eMAX 刻蚀机台主要组成部分有：
操作系统、 RF 系统、 气柜系统、 真空系统、 腔体系统 、 冷却系统、 终点侦测系统等。
RF 系统决定等离子体的产生， 对蚀刻产生明显的影响， eMAX 刻蚀示意图如图 4 所示。
其中 RF 腔体系统反应腔体里气体的流动过程、 腔体内的压力大小及分布也对刻蚀产生明显的影响。
Gas ShowerGas ShowerGas Shower 图 ３ Ｒ Ｆ示意图 终点侦测系统用来监测刻蚀工艺并停止刻蚀以减小对下面材料的过度刻蚀。
由于干法刻蚀选择比不及湿法刻蚀， 过刻蚀带来的后果较严重， 这使得终点侦测系统在干法刻蚀里显得很重要。
ｅＭ Ａ Ｘ为多通道终点监测系统， 由滤波器和光电二极管组成， 波长可选， 可 同时采用 Ａ ， Ｂ两个波长的光信号， 利用两个光信号强度的组合确定终点， 也可只选用一个波长。
WaferWaferUpper
ElectrodeUpper
ElectrodeUpper
ElectrodeLower
ElectrodeLower
ElectrodeLower
ElectrodeRF (Radio Frequency)RF (Radio Frequency)RF (Radio Frequency)ESCESCESC
6 2.2 C4F6 与 C4F8 刻蚀性能比较及相关研究 在氧化膜的干法刻蚀中， 长用到 Ｃ ４Ｆ ８，Ａ ｒ，０ ２，Ｃ Ｏ等气体， Ｃ ４Ｆ ８是主要的刻蚀气体，它在高电场下， 离化成等离子体和活性种（ Ｒ ａ ｄ ｉｃａ ｌ）， 包含 Ｃ Ｆ ＊ ，Ｃ Ｆ ２＊ ，Ｃ Ｆ ３＊等，Ｃ Ｆ ＊ ＋ Ｓ ｉＯ ２—Ｓ ｉＦ ４＋ Ｃ Ｏ ／ Ｃ Ｏ ２；Ａ ｒ是惰性气体， 一方面可以稀释反应气体， 一方面因为其大质量可以轰击被刻蚀体的表面， 加快刻蚀的速率； 在刻蚀过程中由于和光刻胶反应会生成大量的反应生成物， 为（ Ｃ － Ｈ ）ｎ聚合物， 用 Ｏ ２可以帮助除去它们［ ４ ］。
反应中， Ｃ Ｆ基团是最关键的因子， Ｆ是起主要刻蚀作用的， 但它和氧化膜（ Ｓ ｉＯ ２）和氮化膜（ Ｓ ｉ３Ｎ ４）反应， 速率相差不大， 因此刻蚀速率选择比低； 而 Ｃ的作用是生成（ Ｃ － Ｈ ）ｎ聚合物等， 优点是有利于提高刻蚀选择比， 缺点是过多的聚合物会在刻蚀过程中堵塞孔， 造成刻蚀中止（ Ｅ ｔｃｈ ｓｔｏ ｐ ）， 最终导致开孔不良。
所以， 做好他们的平衡至关重要。
可以添加辅助气体如 Ｃ Ｏ来平衡 Ｃ的比例， 也可以改变主刻蚀气体， 比如 Ｃ ／ Ｆ比， 如 ５０％ （ Ｃ ４ Ｆ ８）＜ ６３％ （ Ｃ ５Ｆ ８）＜ ６７ ％ （ Ｃ ４ Ｆ ６）。
图 ４ 常用 反应气体碳氟比 从图 ５可以看出， 要得到最高的刻蚀速率选择比， 最佳的反应气体是 Ｃ ４Ｆ ６气体。 实际上， 当刻蚀线宽从 0.18um 推进到 0.13um 及以下业界已经基本明确了 C4F6用于 eMAX 机台作为主刻蚀气体刻蚀绝缘体材料的发展方向。
与 C4F8相比它有诸多刻蚀性能上的优点(表 1) 表 １ Ｃ ４Ｆ ６ 在 ０ ． １３ｕ ｍ Ｖ ｉａ ／ Ｃ Ｔ 刻蚀中的优点 Criteria eMAX(C4F6) eMAX(C4F8) Process Time(s) 0.64x 1.0 Via/CT SiN Loss(nm) 1.0x 1.0
7 Guard Ring SiN Loss(nm) 0.75x 1.0 Resist Remaining(nm) 3.3x 1.0 Striations Minimal Minimal Microloading 0.5x
Etch Uniformity(%) 0.7x 1.0 CD Bias(nm) 0.33x 1.0 Etch Rate(Å/min) 1.35-1.55x 1.0 Damage,Arcing Low High 从表中可以看出， C4F6在 0.13um技术层面有诸多刻蚀上的优点。
C4F6有比 C4F8更高的对光阻和氮化硅选择比， 这是很重要的两个优点， 因为随着器件尺寸推进到0.13um， 孔的 CD 要比 0.18um时小 30%左右， 同时一些膜层厚度也相应减少， 这就要求对那些关键膜层的选择比要高， 这样才能扩大刻蚀的窗口,提高刻蚀的稳定性。刻蚀速率的提高可以减少刻蚀所用的时间， 从而提高生产效率， 刻蚀均匀度和 CD bias 的提高会 CD 和器件稳定可靠， 提高良率和可靠性。
另外， 环境方面也是一个非常重要的因素。
使用温室效应系数低、 极有利于环保的气体的蚀刻设备及工艺技术估计将会...
篇三：干法第五章总结
mp;lt;写给每一位职场人的工作真谛：干法>
第一章
磨炼灵魂. 提升心志 第 1 节：
我们为什么而工作
第 1 章磨炼灵魂. 提升心志
——为什么要工作
◇工作是人生最尊贵、 最重要、 最有价值的行为。
◇生命中的困难和挫折， 正是我人生的起点， 也正是我最大的“幸运”。
我工作的认真程度， 真的可以用“极度” 二字来形容。
在松风工业， 我的任务是研究最尖端的新型陶瓷材料。
我把锅碗瓢盆都搬进了实验室，睡在那里， 昼夜不分， 连一日三餐也顾不上吃， 全身心地投入了研究。
这种“极度认真” 的工作状态， 在旁人看来， 真有一种悲壮的色彩。
我们为什么而工作
为什么而工作？ 工作是为了获得生活的食粮。
很多人是这么想的。
他们认为， 为了吃饭获取报酬， 就是劳动的价值， 就是工作首要的意义。
诚然， 为了获得生活的食粮， 是工作的重要理由之一， 这没有错。
然而， 我们拼命工作，难道仅仅为了吃饭这一个目的吗？
人工作的目的是为了提升自己的心志——这是我的观点。
提升心志是一件非常困难的事情， 有的僧人经历长期严格的修行， 也未必能够做到。
但是， 在工作中却隐藏着可以达到这个目的的巨大力量。
工作的意义正在于此。
日复一日勤奋地工作， 可以起到锻炼我们的心志、 提升人性的了不起的作用。
我曾在一个电视访谈节目中听过一位修建神社的木匠师傅的话， 很受感动。
他说：
树木里宿着生命。
工作时必须倾听这生命发出的呼声……在使用千年树龄的木料时， 我们工作的精湛必须经得起千年日月的考验。
这种动人心魄的语言， 只有终身努力、 埋头工作的人才说得出来。
木匠工作的意义在哪里？ 它的意义不仅在于使用工具修筑漂亮的房屋， 不仅在于提高木工技能， 更在于磨炼人的心志， 塑造人的灵魂——我在这位师傅的肺腑之言中听出了这样的意蕴。
他已 70 多岁， 只有小学毕业， 职业生涯一直就是修建神社。
几十年间只从事这一项工作，又苦又累， 不胜厌烦， 有时也想辞职不干， 但他还是承受和克服了这种种劳苦， 勤奋工作，
潜心钻研。
在这样的过程中孕育了他厚重的人格， 所以才能说出如此语重心长的人生体验。
像这位木工师傅一样， 将自己的一生奉献给一门职业， 埋头苦干， 孜孜不倦， 这样的人最有魅力， 也最能打动我心弦。
只有通过长时间不懈的工作， 磨砺了心志， 才会具备厚重的人格， 在生活中沉稳而不摇摆。
每次与这样的人接触， 就能引起我的重新思索， 思索工作这一行为的神圣性。
同时我衷心希望， 生活在现代的年轻人， 你们承担着对未来的责任， 在工作中切不可好逸恶劳， 不要逃避困难。
希望你们秉持一颗纯朴的心， 全身心地投入到工作中去。
有时你们或许会感到疑惑：“工作到底是为了什么？ ” 每当此时， 希望你们记住下面这句话：
工作能够锻炼人性、 磨砺心志， 工作是人生最尊贵、 最重要、 最有价值的行为。
第一章
磨炼灵魂. 提升心志 第 2 节：
工作造就人格(1)
工作造就人格
想好好活， 就得好好干， 这一点很重要。
工作就是提升心志、 磨炼人格的“修行”。
这样说并不过分。
大约在十年前， 我和一位德国领事对谈时， 听到这样的话：
“劳动的意义不仅在于追求业绩， 更在于完善人的内心。”
工作最重要的目的在于通过工作来磨炼自己的心志、 提升自己的人格。
就是说， 全身心投入当前自己该做的事情中去， 聚精会神， 精益求精。
这样做就是在耕耘自己的心田， 可以造就自己深沉厚重的人格。
“工作造就人格”， 就是要通过每一天认真踏实的工作， 逐步铸成自己独立的、 优秀的人格。
这样的事例， 从古至今， 从东方到西方， 不胜枚举。
只要翻开伟人们的传记， 随处可见。于完善人的内心。
凡是功成名遂的人毫无例外地， 都是不懈努力， 历尽艰辛， 埋头于自己的事业， 才取得了巨大成功。
通过艰苦卓绝的努力， 在成就伟大功绩的同时， 他们也造就了自己完美的人格。
有这样一则小故事值得玩味：
在南太平洋新不列颠岛上， 有一个未开化部落的村庄， 那里的人们都认同“劳动是美德”这一观点。
在他们的生活中渗透着一种纯朴的劳动观：“认真劳动能塑造美丽心灵”，“美好的工作产生于美好的心灵”。
第一章
磨炼灵魂. 提升心志 第 3 节：
工作造就人格(2)
在这个村落里， 主要的劳动内容是烧荒农业， 作物是甘薯。
在那里， 根本不存在“工作是苦役” 这样的观念。
村民们通过工作追求的目标是：“工作得到的美的成果” 和“人格的陶冶”， 就是要把工作做得完美， 并由此磨炼自己的人格。
村民们互相评论各自田地的整修情况、 作物的长势以及泥土的气味， 气味好闻的被夸为“丰登”， 气味难闻的则被贬为“不毛”。
经过这样一番评价， 田地耕作得精细的人就会被称为“人格高尚的人”， 会受到全村人的尊敬。
也就是说， 这个村子里的村民是通过劳动的成果——田地是否整齐， 作物是否丰收， 来判断一个人的人格的。
田头工作出色、 工作成果显著的人， 就被认为是优秀的人， 是人格高尚的人。
对他们来说， 劳动是获取生活食粮的手段， 但同时又是磨炼心志、 修炼人格的手段。“出色的工作唯有出色的人才能完成”， 这种简朴却切中肯綮的劳动观在原始社会中普遍存在。
而在给人类带来近代文明的西方社会里， 从基督教思想起源，“劳动乃是苦役” 这个观点相当普及。
这一点在《圣经》 一开头的亚当和夏娃的故事中就表达得十分清楚。
他们是人类的祖先， 因为偷吃了上帝禁食的果实， 被赶出伊甸乐园。
原来在乐园里他们不需要劳动， 但遭放逐后， 为了得到食物， 他们不得不怀着痛苦的心情开始劳作。
在这个众所周知的故事里， 人们是为了抵赎自己的“原罪”， 才不得不接受“劳动” 这种惩罚。
于是劳动在人们的意识里成了一种负面的、 否定的形象。
也就是说， 对于欧美人而言， 劳动本是一种充满痛苦、 让人厌恶的行为， 因而产生了近代的劳动观：
工作时间应该尽量缩短， 工作报酬应该尽量增加。
然而在日本原本不存在这样的劳动观。
不仅如此， 过去的日本人， 不管从事何种职业，总是从早到晚辛勤地劳动。
他们认为劳动虽然艰辛， 但却能带来喜悦感、 自豪感， 并能让人明白生活的意义， 劳动是高贵的行为。
有许多优秀的工匠， 只要专心磨炼技能， 制造出赏心悦目的产品， 他们就会感到有一种说不出的自豪和充实； 因为他们认为劳动是既能磨炼技能又能磨炼心志的修行， 他们把劳动看做是自我实现、 完善人格的“精进” 的道场。
可以说多数日本人都曾经抱有这种有深度的、正确的劳动观和人生观。
然而， 近年来， 随着社会逐步西方化， 日本人的劳动观发生了巨大的变化。
这就是本章开头所提到的， 劳动是为了获得生活的食粮， 劳动是“必要之恶”。
因而许多日本人把劳动看做一项单纯的苦差事， 甚至厌恶劳动， 厌恶工作。
第一章
磨炼灵魂. 提升心志 第 4 节：
“极度” 认真地工作能扭转人生(1)
“极度” 认真地工作能扭转人生
话虽这么说， 但我原本也不是一个热爱劳动的人， 而且我曾经认为， 在劳动中要遭受苦难的考验简直是不能接受的事。
孩童时代， 父母常用鹿儿岛方言教导我：
“年轻时的苦难， 出钱也该买。”
我总是反驳说：
“苦难？ 能卖了最好。” 那时的我还是一个出言不逊的孩子。
通过艰苦的劳动可以磨炼自己的人格， 可以修身养性， 这样的道德说教， 同现在大多数年轻人一样， 我也曾不屑一顾。
但是， 大学毕业的我， 在京都一家濒临破产的企业“松风工业” 就职以后， 年轻人的这种浅薄的想法就被现实彻底地粉碎了。
松风工业是一家制造绝缘瓷瓶的企业， 原是在日本行业内颇具代表性的优秀企业之一。但在我入社时早已面目全非， 迟发工资是家常便饭， 公司已经走到了濒临倒闭的边缘。
业主家族内讧不断， 劳资争议不绝。
我去附近商店购物时， 店主用同情的口吻对我说：“你怎么到这儿来了， 待在那样的破企业， 老婆也找不上啊！”
因此， 我们同期入社的人， 一进公司就觉得“这样的公司令人生厌， 我们应该有更好的去处”。
大家聚到一块儿时就牢骚不断。
当时正处于经济萧条时期， 我也是靠恩师介绍才好不容易进了这家公司， 本应心怀感激，情理上就更不该说公司的坏话了。
然而， 当时的我年少气盛， 早把介绍人的恩义抛在一边，尽管自己对公司还没作出任何贡献， 但牢骚怪话却比别人还多。
第一章
磨炼灵魂. 提升心志 第 5 节：
“极度” 认真地工作能扭转人生(2)
入公司还不到一年， 同期加入公司的大学生就相继辞职了， 最后留在这家破公司的除了我之外， 只剩一位九州天草出身的京都大学毕业的高材生。
我们俩商量后， 决定报考自卫队干部候补生学校。
结果我们俩都考上了。
但入学需要户口簿的复印件， 我写信给在鹿儿岛老家的哥哥， 请他寄来， 等了好久毫无音讯。
结果是那位同事一个人进了干部候补生学校。
后来我才知道， 老家不肯寄户口簿复印件给我， 是因为我哥哥当时很恼火：“家里节衣缩食把你送进大学， 多亏老师介绍才进了京都的公司， 结果你不到半年就忍不住要辞职？ 真是一个忘恩负义的家伙。” 他气愤之余拒不寄送复印件。
最后， 只剩我一个人留在了这个破败的公司。
只剩我一个人了， 我非常苦恼。
我那时候想， 辞职转行到新的岗位也未必一定成功。
有的人辞职后或许人生变得更顺畅
了， 但也有的人人生却变得更加悲惨了。
有的人留在公司， 努力奋斗， 取得了成功， 人生很美好； 也有的人虽然留任了， 而且也努力工作， 但人生还是很不如意。
所以情况因人而异吧。
究竟离开公司正确， 还是留在公司正确呢？ 烦恼过后我下了一个决断。
正是这个决断迎来了我“人生的转机”。
只剩我一个人孤零零留在这个衰败的企业了， 被逼到这一步， 我反而清醒了。“要辞职离开公司， 总得有一个义正词严的理由吧， 只是因为感觉不满就辞职， 那么今后的人生也未必就会一帆风顺吧。” 当时， 我还找不到一个必须辞职的充分理由， 所以我决定：
先埋头工作。
不再发牢骚， 不再说怪话， 我把心思都集中到自己当前的本职工作中来， 聚精会神， 全力以赴。
这时候我才开始发自内心并用格斗的气魄， 以积极的态度认真面对自己的工作。
从此以后， 我工作的认真程度， 真的可以用“极度” 二字来形容。
在这家公司里， 我的任务是研究最尖端的新型陶瓷材料。
我把锅碗瓢盆都搬进了实验室，睡在那里， 昼夜不分， 连一日三餐也顾不上吃， 全身心地投入了研究工作。
第一章
磨炼灵魂. 提升心志 第 6 节：
“极度” 认真地工作能扭转人生(3)
这种“极度认真” 的工作状态， 从旁人看来， 真有一种悲壮的色彩。
当然， 因为是最尖端的研究， 像拉马车的马匹一样， 光用死劲是不够的。
我订购了刊载有关新型陶瓷最新论文的美国专业杂志， 一边翻辞典一边阅读， 还到图书馆借阅专业书籍。我往往都是在下班后的夜间或休息日抓紧时间， 如饥如渴地学习、 钻研。
在这样拼命努力的过程中， 不可思议的事情发生了！
大学时我的专业是有机化学， 我只在毕业前为了求职， 突击学了一点无机化学。
可是当时， 在我还是一个不到 25 岁的毛头小伙子的时候， 我居然一次又一次取得了出色的科研成果，成为无机化学领域崭露头角的新星。
这全都得益于我专心投入工作这个重要的决定。
与此同时， 进公司后要辞职的念头以及“自己的人生将会怎样” 之类的迷惑和烦恼， 都奇迹般地消失了。
不仅如此， 我甚至产生了“工作太有意思了， 太有趣了， 简直不知如何形容才好” 这样的感觉。
这时候， 辛苦不再被当做辛苦， 我更加努力地工作， 周围人们对我的评价也越来越高。
在这之前， 我的人生可以说是连续的苦难和挫折。
而从此以后， 不知不觉中， 我的人生步入了良性循环。
不久， 我人生的第一次“大成功” 就降临了 。
第一章
磨炼灵魂. 提升心志 第 7 节：
那些智慧迸发的瞬间(1)
那些智慧迸发的瞬间
加入该公司后过了大约一年， 我接受了一项新任务， 是研究开发一种叫做“镁橄榄石”的新材料。“镁橄榄石” 是一种新型陶瓷， 绝缘性能好， 特别适合于高频电流， 据说用做电视机显像管的绝缘材料最为理想。
与当时另一种主要材料滑石瓷相比，“镁橄榄石” 的优势非常明显， 应用已呈爆发式的增长。
但这种材料在合成成型方面却没有成功的先例。
无论对我个人而言还是对公司而言，“镁橄榄石” 的研究开发是迫在眉睫又极具挑战性的企业里没有什么像样的试验设备， 我日以继夜， 反复试验， 结果总是不理想。
我昼夜不分、 苦思冥想、 不停地试验， 几乎把自己逼入了“痴狂” 的状态， 最后总算合成成功了。
后来我才得知， 成功合成“镁橄榄石” 的除我之外， 只有美国的 GE（通用电气）
一家。所以， 我开发的“镁橄榄石” 引起了广泛的关注。
用高频绝缘性能特别优良的“镁橄榄石” 作为材料， 最早开发成产品的是“U 字型绝缘体”。
这是来自“松下电子工业” 的订单， 它是松下电器产业集团中负责显像管生产制造的一个部门。
当时正逢日本家庭显像管式电视机开始普及，“U 字型绝缘体” 作为电子枪中的绝缘零件， 使用我开发的“镁橄榄石”...
篇四：干法第五章总结
法第六学习小组《干法》第二章学习心得分享稻盛和夫写给职场人的工作真谛著 •【日】稻盛和夫译 • 曹岫云干 法第二章：让自己喜欢上所从事的工作改变“心态”在工作中要善于调节自己的心态，即使现阶段的工作内容并不是自己满意的，做不到热爱自己的工作，但至少要将“厌恶工作”的情绪从心中排除，书中稻盛先生对自己当时的工作并不满意，但通过改变自己的心态，也在日后的工作逐渐发现了这项枯燥工作的魅力，所以在工作中，刚开始一半是强迫自己，后来就变得积极主动起来了，再后来就大大超越了喜欢或不喜欢这样的层次，感觉到了这项工作所包含的重大意义。心态可以影响一个人的工作积极性，当我们对现阶段的工作产生了不良情绪时，也应当调节自己对工作的不良看法，改变自己的工作状态，全力做好眼前的工作。
第二章：让自己喜欢上所从事的工作一、厌恶工作会使你体重激增置身一个让你自己都厌恶的职业与体重飙升之间有着紧密的联系。研究人员认为每天为一个让自己不开心的事劳神会大量消耗体力和精神，从而让人丧失对运动的兴趣，影响对饮食的选择。比如说，在外面待一天用不开心来挣钱，回到家后一份卡路里含量高的甜点或者冰激凌当然是解压的最佳选择，结果就是体重疯长、 恶性循环。厌恶工作的三大负面影响二、厌恶工作会让你与伴侣的关系恶化沉溺在一份令人厌恶的工作中除了不大会让工作真正有起色，还会严重影响我们的日常生活，毁坏我们和伴侣、家人之间的关系。研究证实，不喜欢自己工作的人对性生活的满意度普遍较低，同时家庭生活幸福指数也在平均值以下。有数据显示，与伴侣关系好的男性平均寿命要多6年。三、厌恶工作会让你睡眠质量大大降低、免疫力下降爆棚的负能量会让你彻夜无眠，望着天花板、睁眼到天亮也不是什么稀罕事。缺乏睡眠对于身体免疫机能的影响不容忽视，白天累一天回家，晚上还睡不好觉，相当于又紧接着上了一个大夜班，这样身体哪能承受得了？由此可见，对工作保持一定的积极性和热情对于我们的生活是多么重要，最重要的是我们要做我们所喜欢的工作，加油吧，明天！
第二章：让自己喜欢上所从事的工作“迷恋”工作“有情人相会，千里变一里”，稻盛先生在书中讲到自己的恋爱经历，无论工作劳累，总能送心爱的姑娘回家，并且乐在其中，而工作也应该是一样的，要做到迷恋工作，热爱工作，拥抱工作，如果你对工作足够热爱，在旁人看来完全无法忍受的工作压力或者枯燥的工作内容，那你也可以游刃有余的完美胜任。喜欢自己的工作，就能忍受任何艰苦，只要不懈努力，任何事情都可能成功。要把“被分配的工作”当作自己的天职，这种心境非常重要，与其寻找自己喜欢的工作，不如先喜欢上已有的工作，与其追求幻想，还不如爱上眼前的工作。只要喜欢了，就能不辞辛劳，不把困难当困难，埋头工作，只要一心一意埋头工作，自然就能获得力量，有了力量，就一定能做出成果，有了成果，就能获得大家的好评，获得好评，就会更加喜欢工作。这样，良性循环就开始了。
第二章：让自己喜欢上所从事的工作原文：洪水滔天，鲧窃帝之息壤以堙洪水，不待帝命。帝令祝融杀鲧于羽郊。鲧复生禹，帝乃命禹卒布土以定九州。禹娶涂山氏女，不以私害公，自辛至甲四日，复往治水。注释：洪水肆虐，涂炭生灵，禹的父亲鲧盗取天帝的息壤神图治理洪水 天帝发现后派火神祝融讲鲧杀死 三年后鲧的腹部干了这碗鸡汤（并背诵全文）图治理洪水，天帝发现后派火神祝融讲鲧杀死，三年后鲧的腹部突然裂开，天神禹出生，继承父亲遗志治理洪水，期间禹的儿子启出生，但禹忙于治洪，甚至怕妻儿的呼唤影响自己治水的意志，曾经三次路过家门，但都没有进去，凭着对事业的坚持与热爱，十三年后，成功治理洪水，居功甚伟，位列五帝。感悟：这些记载都是颂扬大禹一生为公，竭尽全力治理洪水，解除民众受水患所苦的崇高行为。在工作中我们也要将祖先这种对事业的热爱及把自己的工作当做天职的精神发扬光大，全身心投入工作。
第二章：让自己喜欢上所从事的工作感动给人注入新的动力“热爱工作”、“把工作当成乐趣”就像僧人艰苦修行一样，绝非易事，而且一直坚持枯燥乏味的工作没有乐趣，也难以持之以恒，所以，稻盛先生在书中提出：还必须要从工作中寻找快乐。也就是工作进展顺利时，就要直率的表达快乐，当结果受到别人赞赏时，就要诚挚地表示感谢，继而将这种喜悦和感动当做精神食粮，继续投入艰苦的工作。所以请为自己的每一步小小的成功而感动，更加努力地工作。
第二章：让自己喜欢上所从事的工作“抱着产品睡”对自己的工作、对自己的产品，如果不注入“抱着产品睡”如此深沉的关爱之情，那么事情就很难做的出色，书中稻盛先生讲到公司需要研发一种新产品的制作，但在制作中又因为温度问题遇到了重重困难，所以想出了“抱着产品睡”这种艰苦的方法并最终完成了新产品的开发。随着历史车轮的缓缓前行，这种干活时手上沾泥带油的工作方式早已不再流行，但是不管时代怎么进步，若是缺乏“抱着产品睡”这种对责任感，就无法体验成功的欣慰，因此，只有热爱自己的工作才能把工作做到最好。就大多数人的工作而言，绝大部分是平凡、具体、琐碎的，看似简单和容易，而把认为简单的事情年复一年地都做好，就是不简单；把认为容易的事一件一件地落实好，就是不容易。这就需要“抱着产品睡”的责任感，有责任感的人受人尊重、招人欣赏、让人放心。
第二章：让自己喜欢上所从事的工作倾听“产品的哭泣声”迷恋工作，热爱工作，坚忍不拔、精益求精的努力工作时，可以积累起雄厚的知识、经验和精湛的专业技能，足以启动自已大脑中智慧的开关，开启心智，迸发出一些创造性的思维方法。稻盛先生研发新型陶瓷产品时，虽然遇到了产品收缩、变形等问题，但是他把一个个产品完全当做自己的孩子，满怀关爱，细心观察，倾听产品的声音，用心观察产品的细部，最终发现出现问题和差错的原因，最终成功研发新型陶瓷产品。这就告诉我们，当你的工作遭遇困境，迷失方向时，要善于倾听你的工作所发出的“窃窃私语”，这能帮你找到解决问题的线索，使你克服眼前的困难，就像高明的医生通过聆听患者的心跳或脉搏就能感知患者的身体异常，从而针对问题找到解决办法。
第二章：让自己喜欢上所从事的工作成为“自燃型”的人所谓“自燃型”的人，就是从来不会“等别人吩咐了才去干”、“因为有了命令才工作”的人，而是“在别人吩咐之前自发去干”的积极主动的人，他们都试热爱工作的人。稻盛先生说：工作造就自已崇高的人格。劳动的意义不仅在于追求业绩和经济价值，更在于完善人的内心。他要求自已要幸福快乐的工作，全身心投入到当前自已该做的事情中去，聚精会神，精以求精。在细致的工作中耕耘自已的心田，造就自已深沉厚重、独立优秀的人格魅力并影响周围的人。劳动是快乐的，虽然有时很辛苦，很劳累，但是当完成某项工作，欣赏自已的劳动成果时就会有一种成就感，心里会感到有一种说不出的自豪和充实。在实际的工作中，我们也可以深深地体会到：认真而有快乐地工作，不仅仅是自已有着积极乐观的心态，同时这些快乐可以传染给别人，这是一种积极向上的情感导向。面带微笑，快乐工作，这就是“自燃型”的人的人格魅力。
第二章：让自己喜欢上所从事的工作勇于在“漩涡中心”工作激情是吹动船帆的风，没有风，船就不能行驶；激情是工作的动力，没有动力，工作就难以有起色。如同灵感可以催生不朽的艺术，激情能够创造不凡的业绩。如果缺乏激情，疲一 沓懒散，很可能 事无成。因此，我们在日常工作中虽然感到很辛苦，但是有辛苦就会有收获，大家都能同心同德、尽心尽力，把工作开展得有板有眼、有声有色，让人有目共睹，有口皆碑，从这一角度看，也许又不仅仅是幸运，而是一种幸福了。所以无论做什么工作，都需要有一个精力充沛、起核心作用的人物。他能让自己进入工作“漩涡”的中心，自己主动领头，积极地把周围的人裹挟进去，把工作有声有色的开展起来。
That"sall，Thanks
你以为这就完了？Excuseme ？Whatareyou弄啥嘞？
与君共勉心若改变——你的态度跟着改变；态度改变——你的习惯跟着改变；习惯改变——你的性格跟着改变；性格改变——你的人生跟着改变。能从工作中找到乐趣，热爱你的工作就会变成一件容易的事，不管你从事何种行业，也不论你处于什么阶层，对于任何一个工作来说，热爱都是做好它的前提。
（此处应有掌声、欢呼声、尖叫声、口哨声）